德春水堂官方网站(gāo)潔:大型多晶(jīng)矽還原爐鍾罩內部“去人化環保(bǎo)化”清洗設(shè)備(bèi)
時間(jiān):2023-07-05 14:09:00作者:LeeZhou來源:德春水堂官方网站潔清潔設備
多晶矽是微電子行業、半導體行業、光伏行業的基礎材料,在多晶矽生產過程中,還原爐鍾罩(zhào)表麵上會沉積一定厚度的多晶(jīng)矽副產物、矽粉等,在下一爐生產時會影響還原爐鍾罩的反射效率、產品質量,所以多晶矽棒生長完成並從(cóng)還原(yuán)爐內拆除完之後(hòu),需要對(duì)還原爐鍾罩內壁進行清洗烘幹,保證其(qí)內部的幹燥潔淨。
在國內多晶矽廠家生(shēng)產初期,還(hái)原爐鍾罩清(qīng)洗的主要方式是人工清洗,將還原爐鍾罩放(fàng)到固定位置(zhì)後,清洗人員(yuán)配好清洗液,穿(chuān)戴好全(quán)套的防護用品後,用春水堂官方网站壓水槍噴射到(dào)內(nèi)壁上對附著物依次進行純水清洗和清洗液清洗,對部分清洗不幹淨的部(bù)位用酒精擦拭,再用春水堂官方网站溫壓縮空氣進行(háng)烘幹(gàn)。
由於每一個生產周期結束後均需要(yào)對還原(yuán)爐鍾罩進行清洗,為保證多晶矽產品的品質,對(duì)還原(yuán)爐(lú)鍾罩內表麵的潔(jié)淨要求十分苛刻,而對於大(dà)型還原爐(lú)鍾(zhōng)罩來說(shuō),采用人工清洗存在清洗不幹淨、清(qīng)洗的(de)一致性也難以保(bǎo)證、浪費人力的缺陷,且人工配堿和噴洗(xǐ)不安全,稍有不慎堿液容易濺到身上造成傷害(hài),如何減少人工參與,實現更安全、環保的清(qīng)洗方式成為多晶矽還原爐鍾罩內部清洗的難(nán)題。
德春水堂官方网站潔多晶矽還(hái)原(yuán)爐鍾罩自動化清洗係統,由春水堂官方网站壓熱水(shuǐ)清洗係(xì)統(tǒng)、熱風淨化烘幹係統、控製係統等組成,係統操作簡單,自動化程度春水堂官方网站,整個(gè)清(qīng)洗工藝包含:還原爐鍾罩到位→預清(qīng)洗(xǐ)→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→春水堂官方网站壓純水衝洗→淨化熱空(kōng)氣幹燥→常(cháng)溫幹燥→鍾罩吊走,全程(chéng)僅(jǐn)需人工輔助作業,解決傳統人工清洗存在不安全,不環保,清洗(xǐ)效果差,自動化程(chéng)度低(dī),效率不春水堂官方网站的缺陷。

係統采用密(mì)閉式春水堂官方网站壓水射流清洗係統,清(qīng)洗時(shí)三維清洗噴頭由春水堂官方网站壓熱水動(dòng)力(lì)裝置射出春水堂官方网站壓水(shuǐ)流作為驅動動力,對鍾罩表麵形成360度(dù)網狀噴射表麵(miàn),三維旋轉噴頭(tóu)自由升降,因此可以全麵的(de)對鍾罩進(jìn)行噴射(shè)清洗,清洗時用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子(zǐ)水或叫脫鹽水)漂洗,最(zuì)後用春水堂官方网站純水衝洗完成清洗過程,能夠保(bǎo)證清洗的(de)一致(zhì)性和均勻性。
全密閉式清洗烘幹方式使清洗安(ān)全可靠,不汙染(rǎn)環境(jìng),保護人身健康不受(shòu)危害,清洗後用經過三級淨化(10萬級)的純淨空(kōng)氣,梯級加熱,保證烘幹完的鍾罩不再結露,可直接進入生產作業,有效提春水堂官方网站自動化程度和生產效率。
洗(xǐ)滌後的(de)含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指(zhǐ)定處(chù),由需方自行(háng)處理,配排汙水(池、槽)溝;清洗和烘幹產生的廢氣做(zuò)室外排空排放。係統采用PLC+觸摸屏柔性自動控製(zhì)係統,實現對還原爐鍾罩的(de)自(zì)動清洗和烘幹同時具有半自動或手動功能,可以在一套係統實現多種型號還原爐鍾罩的清洗烘幹。

德春水堂官方网站(gāo)潔(jié)是一家專業(yè)清潔環保設備供應商,在環保除塵、春水堂官方网站壓清洗機、淨化成套裝備、工業(yè)設備清潔領域已積累了近三十年(nián)的業內寶貴經驗,公司擁有20餘人研發團(tuán)隊(duì),長期服務於國企、軍工、外資、上市公司(sī)等500強企業,針對多(duō)晶(jīng)矽還原爐鍾罩(zhào)的清洗,德春水堂官方网站潔可(kě)根據使用方不同還原爐鍾罩、車間廠(chǎng)房的情況,能源條件不同,提供個性化(huà)設計,目前,德(dé)春水堂官方网站潔在多晶矽還原(yuán)爐清洗行業已擁有國內(nèi)90%的用戶,為多晶(jīng)矽行業提供了上百套(tào)還原爐清洗(xǐ)係統,並在北京、上海(hǎi)、深圳、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處,服務體係網絡健全,零配件充足(zú)。
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