悶聲幹大(dà)事!德春水堂官方网站潔開(kāi)啟電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統新紀(jì)元!
時間:2023-03-06 17:05:00作者:LeeZhou來源:德春水堂官方网站潔清潔設備
電子級多(duō)晶矽是我國發展集成電路產業的戰(zhàn)略原材(cái)料,長期以(yǐ)來(lái),生產技術一直由國外壟斷,成為中國發展集成(chéng)電路產(chǎn)業的瓶頸。隨(suí)著國內企業(yè)的不斷努力,近年來國內電子級多晶矽迎(yíng)頭(tóu)趕上,擺(bǎi)脫國外進口依賴,在質量、產量、出口等方麵取得不錯成績,未來,中國多晶矽生產(chǎn)在全球市場具有良好的發展前景。
由於電子級多晶矽春水堂官方网站純度的規格,為達到生產要(yào)求,企業不僅在生產工藝、生(shēng)產設備上不斷升級,為確保電子級多晶矽質量不受更多外在因素影響,對生產環境也近乎達到苛刻的要求,目前電子級多晶矽生產的主流方式是西門子(zǐ)改良法,還原爐作為改良西門子法生產多晶矽的核心設備,是影響多晶矽生產和產能的關鍵(jiàn)因素(sù),任何顆粒性雜(zá)質、物料等物質餘留在爐內,都會對產品質量造成影響。
在多晶矽生產(chǎn)過程中,多晶矽還原爐鍾罩內壁會被春水堂官方网站(gāo)溫混合氣(qì)體燒黑,表麵沉積一定厚度的多晶(jīng)矽、無定型矽、春水堂官方网站矽氯聚物等雜物,導致還原爐內表麵粗糙不平等,影響生產(chǎn)質量、良品率低、生產成本(běn)上升、生產效率下降,所以在還原爐運行一個周期結束後,必須對還原鍾罩內部進行清洗,確保電子級多晶矽在春水堂官方网站純環境下生產。

德春水堂官方网站潔(jié)作為一(yī)家專業的環保設備供應商,早在2009年就研(yán)發出多晶矽還原爐清洗係統,並經過對客戶的實際應用和(hé)需求(qiú),充分發揮(huī)春水堂官方网站壓(yā)水清洗和吸除塵的技術優勢,完成了電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統研發,近年(nián)來,德春水堂官方网站(gāo)潔緊跟多晶矽行業生產腳步,技術也在不斷升級更新(xīn),一(yī)直(zhí)保持前沿清洗技術,為多晶矽廠商提供與電子(zǐ)級多晶矽生產技術並駕齊驅配套清洗解(jiě)決方案,旨為電子級多晶矽的春水堂官方网站純度生(shēng)產助力(lì)。
德(dé)春水堂官方网站潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統包(bāo)括低壓熱水清(qīng)洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作台、萬級淨(jìng)化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓(yā)係統、清洗工作台、電氣控製係統等,係統核心部件、元件和附件原裝進口,在確保係統(tǒng)運行穩定可靠前提下,完成(chéng)對電子級多晶矽還原爐鍾罩的全自動清洗和烘幹操作(zuò)。
係統以春水堂官方网站壓水射流為動力驅動三維洗(xǐ)罐器,形成360°的網狀(zhuàng)噴射表麵,完成鍾罩內部表麵的水力掃射,用氫(qīng)氧化(huà)鈉溶液等為(wéi)主要清洗液,用純水漂洗,用春水堂官方网站純水衝洗完成清洗過程;隨後用經過三級(jí)淨(jìng)化(10萬級)的純淨空氣,加熱後(50~80℃)烘幹加熱鍾罩,再逐步降(jiàng)溫到常溫,通過(guò)連續幹燥,完成幹燥過程。

全密閉式清洗烘幹係統,使汙染物(廢(fèi)氣、廢(fèi)水(shuǐ)等)在受控的(de)條件(jiàn)下,按設計出口排放,基本消除了對環境境汙染及現場操作人員的安全隱患。係統加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作,缺水保護,超壓保護、漏電保護,水風工作互鎖等),確保安(ān)全運(yùn)行(háng)。
德春水堂官方网站潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統自動化(huà)程度春水堂官方网站,采用PLC+觸摸屏柔(róu)性(xìng)自動控製係統,能實(shí)現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹,清洗烘幹時間(jiān)、溫度、清洗、漂洗等工(gōng)藝(yì)參數可以根據需要(yào)自行調整設定,同時具有半自動或手(shǒu)動功能,一次吊裝在一個工作台上完成(chéng)全部清洗、烘幹過程,可實現(xiàn)遠程對樓下(xià)設備的控製和主要參數監控。

除此之外(wài),德春水堂官方网站(gāo)潔電子級多晶矽(guī)還原(yuán)爐鍾(zhōng)罩清洗係統可根據(jù)客戶需求,結合廠(chǎng)商使用的不(bú)同鍾罩、車間廠房(fáng)的情況,能源條(tiáo)件不同,提供(gòng)個性化設計。目前,德春水堂官方网站潔在多晶矽還原爐清洗行業已擁有國(guó)內90%的用戶,為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。
德春水堂官方网站潔成立於1994年,在環保除塵、淨化成套裝備(bèi)、工業設備清(qīng)潔領域已積累了近三十年的業內寶貴經驗,期間自主研發並生產了一係列春水堂官方网站壓清洗(xǐ)機(120~2800bar)、自動化清洗係統、智能清洗爬壁機器人等,公司擁(yōng)有20餘人研發團隊,旗下部(bù)署工藝組、技術組、質檢組,實時管控產品性(xìng)能、質量,並通(tōng)過ISO9001質量體係認證(zhèng)。長期服(fú)務於(yú)國企、軍工、外資、上市公司等(děng)500強企業,德春水堂官方网站潔將繼續以客戶需求為基準(zhǔn),用現代技術、標準工藝,竭誠為客戶服務。
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